1.性能參數(shù)
ITEM # |
COATING |
M |
WD |
EFL |
NA |
TFS |
EA |
L |
SPOT SIZE |
XWJ-40X-UV |
UV |
40× |
1.5mm |
4.4mm |
0.6 |
1μm |
5.3mm |
43.5mm |
1μm |
注:有限遠(yuǎn)共軛
2.外形尺寸
3.成像質(zhì)量測(cè)試報(bào)告

4.檢測(cè)結(jié)果
4.1焦距測(cè)量

焦距測(cè)量的測(cè)試波長(zhǎng)為綠光(540nm),該波長(zhǎng)下的顯微物鏡焦距為5.6mm,實(shí)測(cè)焦距為5.3mm
4.3 透過(guò)率測(cè)量

陪鍍片的剩余反射率曲線
-
利用陪鍍片進(jìn)行測(cè)量,陪鍍片厚度:8mm;
-
結(jié)果:內(nèi)透過(guò)率:99.6%;零件透過(guò)率:98.4%;單面透過(guò)率:99.485%
-
整體透過(guò)率為94%(193nm處)。
4.2像質(zhì)檢測(cè)

a) 顯微物鏡對(duì)目標(biāo)(小孔)所成的像

b)能量集中度曲線

c) 點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)
5. 實(shí)物照片
